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江俊峰

教师拼音名称：Jiang Junfeng
出生日期：1977-06-09
性别：男
职称：教授
所属院系：精密仪器与光电子工程学院

专利成果

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System and method for measuring residual pressure inside micro-cavity of MEMS chip

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第一作者：Jiang Junfeng
专利类型:Invent
专利状态:Authorized patents
授权号:ZL201310631974.5
是否职务专利:否

附件:

1. 一种MEMS芯片微腔内部残余压力测量系统及方法.jpg

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