基于SURF算法的MEMS平面微运动测量

Hits:

Affiliation of Author(s):天津大学

Journal:自动化与仪表

Place of Publication:中国

Funded by:国家重点研发计划项目

Key Words:图像处理，平面微运动测量，SURF算法

Abstract:针对MEMS等微小目标的高频面内振动实时检测的需要，提出采用基于SURF算法的特征点匹配测量方法，实现其高精度面内动态特性测量。该方法在利用频闪微视觉系统采集MEMS周期内频闪图像序列的基础上，使用SURF算法对序列中相邻的图像进行特征点的检测，采用最近邻匹配进行初步匹配，而后通过RANSAC算法筛除错误匹配，根据最终的匹配结果计算获取待测目标的亚像素位移，并转化为实际的空间距离。实验结果表明，算法具有亚像素精度，与频闪微视觉系统结合可以达到15nm的空间位移分辨力，且在80万像素的分辨率下帧率可以达到25，满足实时高精度检测的要求。

All the Authors:赵帆，桑梅*，王双，张瑞峰，刘铁根

First Author:赵帆

Indexed by:Applied Research

Correspondence Author:桑梅

Volume:35

Issue:8

Page Number:23-27

Translation or Not:no

CN No.:null