肖谧
- 教师拼音名称：Xiao Mi
- 出生日期：1972-06-21
- 性别：男
- 职称：副教授
- 所属院系：电气自动化与信息工程学院
一种垂直生长的氧化锌薄膜的制备工艺
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- 第一作者：肖谧
- 申请专利人：肖谧
- 发明设计人：肖谧
- 专利说明:本发明提供了一种垂直生长的氧化锌薄膜的制备工艺,包括如下步骤:A.采用溶胶凝胶法在基板上制备氧化锌种子层;B.采用溶胶凝胶法在种子层上制备氧化锌薄膜。所述种子层的厚度为5NM～20NM。通过本发明,可在普通的大气环境下利用溶胶凝胶法在基板上成功地制备垂直生长的氧化锌薄膜。本发明工艺简单,方便快捷,便于实施,可广泛应用。
- 专利类型:Invent
- 专利状态:Authorized patents
- 授权号:2007100567943
- 发明人数:1
- 是否职务专利:是