徐宗伟
- 教师拼音名称：Xu Zongwei
- 职务：精仪系系主任
- 性别：男
- 职称：教授
- 所属院系：精密仪器与光电子工程学院
Fabrication of Micro/Nano Structures using Focused Ion Beam Implantation and XeF2 Gas Assisted Etching
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- 发表刊物:Journal of Micromechanics and Microengineering
- 合写作者:Z. W. Xu, F. Z. Fang*, Y. Q. Fu, S. J. Zhang, T. Han, J. M. Li
- 第一作者:Z. W. Xu
- 通讯作者:F. Z. Fang
- 卷号:19
- 页面范围:054003(9pp)
- 是否译文:否