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徐宗伟

  • 教师拼音名称:Xu Zongwei
  • 职务:精仪系系主任
  • 性别:男
  • 职称:教授
  • 所属院系:精密仪器与光电子工程学院

专利成果

A novel micro/nano-fabrication method by focused ion beam implantation combining with fluoride xenon gas assisted etching.

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  • 第一作者:Fang, F.Z.
  • 发明设计人:Fang, F.Z.; Xu, Z.W.; Hu, X.T.
  • 专利类型:Invent
  • 专利状态:Authorized patents
  • 授权号:ZL200910067643.7
  • 是否职务专利:否